無塵室施工要明確使用需求，制定施工標準，進行無塵室施工規(guī)劃，一般無塵室施工規(guī)劃包含建筑規(guī)劃與工藝規(guī)劃，無塵室施工規(guī)劃是一項專業(yè)性非常高的技術工作，不僅需要具備建筑知識還要了解無塵室的使用要求，無塵室施工總體規(guī)劃內容繁多，包含但不僅限于電力、通風、空氣凈化、設備安裝，建筑施工等內容。

在無塵室施工規(guī)劃當中，首先要具有完整的設計規(guī)劃圖。設計規(guī)劃圖包含平面規(guī)劃圖、家具布置圖、擺放示意圖、裝修設計圖、排水設計圖、暖通設計圖、系統(tǒng)設計圖、電氣設計圖、自動控制設計圖等。

除了要有完整的設計規(guī)劃圖之外，無塵室施工規(guī)劃還有很多設計內容，例如要有無塵室施工的基礎設計，包含基礎定位、規(guī)劃設計、功能區(qū)域布局設計、流程設計、配電設計、暖通設計、上下水設計、氣路設計、通風設計、裝修設計、照明設計、空調設計、土建設計以及其他設計。

無塵室施工規(guī)劃除了要有上述內容之外，還要有人工設計，包含消防、環(huán)保、節(jié)能、人文、職業(yè)、健康以及其他安全設施。無塵室施工優(yōu)化設計與前瞻性設計也是無塵室施工規(guī)劃中很重要的一部分內容，對流程優(yōu)化、環(huán)境條件監(jiān)控優(yōu)化，無塵室施工管理優(yōu)化要進行遠期規(guī)劃與靈活性考慮。